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  RF電源(高周波電源)/マッチングボックス
  
ENI製   型式:RFC-5

       
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  RF電源(高周波電源)
  
アドテック製(AD-TECH) 型式:AX-1000V

   
   
       
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  RFプラズマ電源(高周波電源)/マッチングボックス
  
AD-TEC製(アドテック製)   型式:AX-3000V

 
売却済    
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  電子銃(Electron-gun)
  
5kV 2ch

       
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  マッチングコントローラー
  
ASTECH製  型式:RC-11  (AUTOMATIC MATCHING CONTROLLER)

 
       
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  マスフローコントローラー制御ユニット
  
STECH製  型式:PAC-S5

 
 
       
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  高周波電源(RF電源)
  
ADTECH製  型式:AX-500

 
 
       
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  高周波電源(RF電源)
  
アネルバ製  型式:PRF-125C

       
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  膜厚コントローラー
  
INFICON製(インフィコン)  型式:XTC

 
 
       
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  マッチングコントローラー
  
ULVAC製  型式:AMC 6D

 
 
       
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  マスフローコントローラー
  
AERA製/S-TEC製 各種

 



       
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  RF電源/RFジェネレーター
  
ENI製  型式:ACG-6B   出力:600W 13.56MHZ

 



       
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  Q-MASS 質量分析器
  
アネルバ製 ANELVA製

   
 


ANELVA

質量分析器

       
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  クライオコンプレッサー ヘリウムコンプレッサー
  
各種

   
 



       
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  ピラニー真空計
  
PIC製 Torr表示 2SETPOINT



       
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  プラズマ電源(DC電源)
  
ENI製  型式:DCG-100

 
       
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  DC電源(スパッタ電源)
  
アドバンスドエナジー製  型式:MDX pinnacle

 
 
       
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  サーモカップル真空計
  

 
 
       
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  高周波電源(RF電源)
  
ENI製  型式:OEM-10B

       
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  Deposition Controller
  
INFICON 型式:IC/5


INFICON

型式:IC/5

       
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  アングルバルブ (真空バルブ)
  
VAT製 型式:KA41
  アネルバ製 型式:V-025RV-MN 

       
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  ゲートバルブ (真空バルブ)
  
VAT製 フランジ径6インチ、8インチ
        型式:JA44 型式:JE01 型式:CA24 型式:JE28 


ゲートバルブ

ICFフランジ
VF/VCフランジ
インチサイズ  各種

       
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  真空配管部品
  
チーズ配管、エルボ配管、フレキ配管 各種 他...


真空配管部品

フレキホース
センターリング、クランプ
メクラフランジ
クロス、エルボ、チーズ配管

       
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