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  電子銃(EB GUN)
  
アネルバ製  型式:EGP-230

 
       
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  真空蒸着機
  
 

       
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  イオンコーター/カーボンコーター
  
JEOL製(日本電子製)  型式:JEC-530

 
       
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  イオンスパッタ
  
日立製  型式:E-1045

 
 
       
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  イオンコーター(QUICK COATER)
  
サンユー電子製  型式:SC-701

 
       
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  スパッタリング装置
  
ANELVA製  型式:SPF-332H

       
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  プラズマクリーナー
  
ヤマト科学製  型式:PDV-210

 
       
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  スパッタ装置
  
アネルバ製  型式:SPF-530H

 
       
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  ヘリウムリークディテクター
  
島津製 型式:MSE-3200

       
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  ICPエッチャー
  
STS製   型式:MESC Multiplex ICP

 
       
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  RF電源(高周波電源)/マッチングボックス
  
ENI製   型式:RFC-5

       
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  RFプラズマ電源(高周波電源)/マッチングボックス
  
AD-TEC製(アドテック製)   型式:AX-3000V

 
       
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  プラズマアッシング装置
  
プラズマシステム製   型式:PE-615L

 
 
       
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  プラズマアッシャー
  
モリエンジニアリング製 型式:PB-600

 
       
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  スパッタリング装置(RFスパッタ)
  
神鋼製 型式:SRV4220型

       
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  真空蒸着機
  
アルバック製 型式:EBX-12C

 
       
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  イオンスパッタ(卓上スパッタ装置)
  
日立製 型式:E-1030

 
       
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  製膜装置
  
サムコ製 型式:PD-200D

 
       
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  プラズマアッシャー
  
プラズマシステム製 型式:DES-106-254E

 
 
       
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  ドライエッチング装置
  
アネルバ製 型式:DEM-451M

       
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  蒸着機
  
アネルバ製 型式:EVC-1501

 
       
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  RF電源(スパッタ電源)
  
ENI製 型式:OEM-10B

 
       
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  ヘリウムリークディテクター
  
アネルバ製

 
 
       
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  RF電源(スパッタ電源)
  
AD-TEC製(アドテック)  型式:AX-1000   型式:AX-2000

 
 
       
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  RF電源(スパッタ電源)
  
アルバック製  型式:PRF-065B

 
 
       
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  DC電源(スパッタ電源)
  
アドバンスドエナジー製  DC電源:MDXシリーズ

       
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